威格斯VICOTE涂料应用大型喷涂涂布机

2019-10-13 05:16:31 来源: 滨州信息港

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  英国威格斯公司(Victrex plc)宣布,基于VICTREX?PEEK?聚合材料的VICOTE涂料已被光电、半导体设备制造商擎邦国际科技工程股份有限公司(King Polytechnic Engineering Co., Ltd)所采用,被应用于制造2", 8", 12", 甚至{TodayHot}更大的晶圆以及LCD面板的中大型旋转喷涂/浸渍喷涂(SPIN/DIP)设备系列上。VICOTE 804 BLK凭借其优异耐化学腐蚀性、耐高温性与的附着力,成功地取代了原有的PTFE涂层。VICOTE涂料可减少涂布机在显影、蚀刻与去光阻制造过程中所产生的发尘量。这不但可延长设备使用寿命,减少设备维修,更可大幅提升晶圆与LCD面板的生产效率与成品率。 在半导体或LCD制造过程中,光刻(photolithography)是关键也是困难的步骤。光阻剂、蚀刻液与显影液需透过旋转喷涂/浸渍喷涂方式,才可以在晶圆与玻璃基板面板上完成制造(fabrication)。面对强酸碱化学物质与高温等极为严苛的制造环境,设备的稳定与均匀性直接影响晶圆与LCD面板的成品率。 擎邦无尘室事业部厂长黄可强表示:“从终端用户的角度出发,采用VICOTE涂料可减少设备维修与停工时间,进而提升晶圆与LCD面板的生产效率与成品率。之前所采用的PTFE在显影、蚀刻与去光阻制造过程中,经冷热循环、受强酸碱化学物质以及高温环境所影响,PTFE涂层容易掉落,从而导致频繁维修旋转喷涂设备。但自从采用VICOTE涂料后,至今都还没接到维修需求。目前用于制造8”以上晶圆与LCD面板的中大型旋转喷涂/浸渍喷涂涂布机系列都已采用VICOTE804 BLK涂料。” 威格斯台湾区经理李自立指出:“随着半导体工业向更大晶圆尺寸、更高密度、更严苛的化学以及高温加工生产环境发展,引进先进的材料和加工技术已成为产业发展的关键。VICOTE涂料兼具出色的耐磨性与的基材附着力及耐化学腐蚀性,可大幅度减少颗粒产生量,并能承受大部分的化学物质侵蚀。制造设备的关键性零件通过采用VICOTE涂料,可延长设备的使用寿命与减少设备维修需求。通过不同的产品供应形式(粉末涂料与分散液涂料),可为终端用户提供灵活且符合经济效益的应用模式。这次与擎邦的合作也进一步证明VICTREX PEEK是全球半导体产业理想的材料选择。” VICOTE涂料是基于VICTREX PEEK 聚合材料的新型涂料,分为粉末与分散液涂料两种,提供优异的抗刮伤、耐磨性、耐高温、高强度和耐久性。环保的VICOTE涂料的研发成功填补了当今涂料技术领域在性能上的不足。无论是用于工业、汽车、食品加工、半导体、电子或者医药领域,VICOTE涂料都是工程师们的理想选择。可帮助工程师在应用过程中提升产品的耐摩擦性,延长设备中涂装组件的使用寿命。VICOTE涂料可用静电或传统的分散液技术进行涂装。

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